▲ JEOL의 저각도 이온 밀링 주사전자현미경 ‘HAXIS’ [출처=JEOL]일본 전자현미경 제조업체인 지올(JEOL)에 따르면 2026년 10월5일부터 새로운 저각도 이온 밀링 주사전자현미경 HAXIS의 판매를 시작했다.첨단 반도체 장치 구조가 계속 미세화되고 복잡해짐에 따라 나노 매니퓰레이터를 사용해 마이크로 스케일 회로에 접촉하고 측정하는 것이 어려워…