[일본] 자동기계업체 CKD, 2016년 발열억제에 특화된 코일제품 개발
열을 전달하기 쉬운 부분에 냉각판을 붙여 전류를 흘리면서도 온도의 상승 억제
2016-04-15 오후 5:57:38
일본 자동기계업체인 CKD는 2016년 발열억제에 특화돼 기존제품과 같은 사이즈에서 최대 10배 출력이 가능한 코일제품을 개발했다고 발표했다.
카메라제조업체인 니콘의 소형 반도체 제조장치에 채용된 이 코일은 장치소형화 및 생산효율성 개선에 기여할 것으로 전망된다.
코일은 철사 등의 가늘고 긴 금속선이나 띠를 감은 것으로 전기나 자기를 발생하기 때문에 동력원 등에 이용된다. 전류를 흘리면 금속의 저항으로 열이 생기기 때문에 큰 전류를 흘리면 주변기기를 망가트리는 일이 생긴다.
CKD가 개발한 코일은 고열전도코일의 위아래를 산화알루미늄으로 코팅하고 내부에 냉각수가 흐르는 구조인 산화알루미늄의 냉각판과 접합시켰다. 열을 전달하기 쉬운 부분에 냉각판을 붙여 전류를 흘리면서도 온도의 상승을 억제하는 구조다.
CKD에 따르면 이런 구조의 코일은 세계 최초로 코일 1개당 흘리는 전류량이 상승하면 많은 코일을 사용해야 했던 장치를 소형화할 수 있다고 밝혔다.
이번 코일유닛을 사용한 제1탄 제품은 니콘과 공동개발해 특허출원한 모터다. 니콘은 웨이퍼에 반도체회로를 각인하는 액침노광 장치인 450mm웨이퍼의 이동장치(웨이퍼홀더)에 모터를 탑재했다.
웨이퍼홀더의 모터 성능을 향상시킴으로서 생산능력이 크게 향상됐고 웨이퍼대의 면적도 소형화할 수 있었다.
CKD는 코일유닛이 여러 기업에서 상품문의가 많아 향후 주력제품으로 용도확대를 추진할 계획이라고 밝혔다. 응용제품으로는 큰 전류가 필요한 트랜스와 노이즈필터, 리액터 등의 탑재를 목표로 하고 있다.
▲ CKD 로고
카메라제조업체인 니콘의 소형 반도체 제조장치에 채용된 이 코일은 장치소형화 및 생산효율성 개선에 기여할 것으로 전망된다.
코일은 철사 등의 가늘고 긴 금속선이나 띠를 감은 것으로 전기나 자기를 발생하기 때문에 동력원 등에 이용된다. 전류를 흘리면 금속의 저항으로 열이 생기기 때문에 큰 전류를 흘리면 주변기기를 망가트리는 일이 생긴다.
CKD가 개발한 코일은 고열전도코일의 위아래를 산화알루미늄으로 코팅하고 내부에 냉각수가 흐르는 구조인 산화알루미늄의 냉각판과 접합시켰다. 열을 전달하기 쉬운 부분에 냉각판을 붙여 전류를 흘리면서도 온도의 상승을 억제하는 구조다.
CKD에 따르면 이런 구조의 코일은 세계 최초로 코일 1개당 흘리는 전류량이 상승하면 많은 코일을 사용해야 했던 장치를 소형화할 수 있다고 밝혔다.
이번 코일유닛을 사용한 제1탄 제품은 니콘과 공동개발해 특허출원한 모터다. 니콘은 웨이퍼에 반도체회로를 각인하는 액침노광 장치인 450mm웨이퍼의 이동장치(웨이퍼홀더)에 모터를 탑재했다.
웨이퍼홀더의 모터 성능을 향상시킴으로서 생산능력이 크게 향상됐고 웨이퍼대의 면적도 소형화할 수 있었다.
CKD는 코일유닛이 여러 기업에서 상품문의가 많아 향후 주력제품으로 용도확대를 추진할 계획이라고 밝혔다. 응용제품으로는 큰 전류가 필요한 트랜스와 노이즈필터, 리액터 등의 탑재를 목표로 하고 있다.
▲ CKD 로고
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