▲ 교육생들이 아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비를 활용해 반도체 공정을 학습하고 있다([출처=아이지)첨단기술교육 전문기업 아이지(대표 김창일)는 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공했으며 본격적인 공급에 나섰다.반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비다. 반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다.반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 지원한다. 반도체 제조 공정에서 플라즈마는 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정과 함께 포토 공정 중 EUV 발생 등에 사용된다.전자기장을 통해 제어 가능한 기체 구조를 지닌 플라즈마는 적은 에너지 투입으로도 빠르게 화학반응을 진행할 수 있고, 양이온, 음이온, 라디칼, 원자, 분자 등 다양한 입자로 이뤄져 있어 새로운 화학 반응이나 더 빠른 화학 반응을 유도할 수 있다.플라즈마의 이러한 특성은 반도체 기술 발전에 따른 더 높은 수준의 공정을 구현하는 데 활용되고 있으며, 앞으로도 반도체 제조에서 플라즈마 공정의 활용 범위는 더 넓어질 것으로 기대된다.아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 반도체 플라즈마 공정의 프로세스 장치를 제어하는 컨트롤 솔루션을 제공한다.제어 소프트웨어 솔루션 및 제어기를 지원하고, 반도체 구성 모듈(RF Generator, Throttle Valve 등)과의 EtherNET 및 RS-232 통신 제어가 가능하다.또한 공정에서 취득한 데이터를 저장 및 관리하는 데이터 서버와 연계해 운용할 수 있으며 리얼 시스템과 가상 시스템을 상호 연계한 운용도 지원한다.▲ 아이지가 개발한 반도체 8대 공정 모듈[출처=아이지]이 장비를 통해 △웨이퍼 표면을 정리하고 활성화시켜 다음 공정 단계에 대한 접착력을 증가시키는 기능 △웨이퍼의 특정 부분을 선택적으로 제거해 원하는 패턴을 형성하는 에칭 기능 △플라즈마를 이용해 다양한 물질을 웨이퍼 표면에 얇은 층으로 증착하는 기능 △플라즈마로 웨이퍼 표면의 성질을 변화시켜 전기적·화학적 특성을 개선하는 표면 개질 기능 △웨이퍼 상의 불순물을 제거해 고도의 청정도를 유지하는 클리닝 기능 등을 구현함으로써 반도체 플라즈마 공정의 다양한 기능을 실습할 수 있다.특히 아이지는 해당 장비를 한국반도체산업협회에서 운영하는 교육과정에 활용되도록 함으로써 현장형 반도체 인재를 양성하는데 크게 기여하고 있다.이외에도 아이지는 반도체 8대 공정 실습 장비를 공급해 전문대 및 직업대, 반도체 마이스터고 등에 교육과정을 안내하고 교원 및 학생 연수를 진행하고 있다.그동안 반도체 오퍼레이터, 메인트, 또는 반도체 장비 설계·제조와 같은 반도체 공정 분야 기술 직군의 인력 양성교육은 전문 오퍼레이터가 실제 반도체 설비를 운용하는 모습을 학생들이 참관하는 형태로 진행돼 왔다.아이지가 약 1년 6개월에 걸쳐 개발한 반도체 8대 공정 실습 장비는 △웨이퍼 제조 △산화 △포토 △식각/박막/증착 △습식 △세정 △이온 △주입-EDS-언로딩/패키징의 반도체 8대 공정을 모듈화한 교육 훈련 장비다.반도체 8대 공정 실습이 가능한 교육 장비와 플라즈마 All-in-One 교육 장비를 통해 실제 반도체를 공부하는 학생들이 FAB에 들어가지 않고도 첨단의 교육을 받을 수 있도록 지원하고 있다.

▲ 오스트레일리아 정부 로고오스트레일리아 Trisun Green Energy에 따르면 베트남 호치민시 인민위원회로부터 플라즈마 가스폐기물 처리공장 건설을 승인받았다.호치민시는 현재 매일 7600톤의 고형폐기물이 생산되며 처리되지 않은 채로 버려지고 있어 환경을 오염시키고 있는 상황이다.플라즈마 가스폐기물 처리공장의 규모는 US$ 5억2000만달러에 달하며 캐나다업체의 플라즈마 아크기술을 사용할 계획이다.이 공장은 기존의 방식으로 폐기물들을 소각하거나 매립하는 대신 플라즈마 아크기술로 3000~7000도로 가열해 가스로 변환시켜 전기를 생산한다. 또한 처리 후 무해한 잔해는 건축자재로 활용이 가능하다.공장의 위치는 Củ Chi 외곽의 Phước Hiệp 폐기물 처리구역에 13헥타르의 부지에 건설될 예정이다. 공장의 처리능력은 고형폐기물 1일 1000톤, 유해폐기물 2000톤에 달한다.건설기간은 33개월로 예상하고 있으며 공장에서 생성된 전기는 1kW당 10.05센트의 가격으로 Vietnam Electricity에 판매될 예정이다.호치민시는 처리비용을 가정쓰레기 1톤당 약 20.63달러 지불하고 산업, 의료, 유해 폐기물 등의 경우 요금은 회사측과 협상할 계획이다.

전자기기업체 파나소닉인도네시아(PT. Panasonic Gobel Indonesia)에 따르면 2018년 국내 '플라즈마 TV'의 시장점유율을 기존 7%에서 12%까지 확대할 계획이다.2013년 당사는 플라즈마 TV 사업부를 유치한 이후 지난 2015년 매출액이 20% 성장했다. 이로써 해당 제품의 수요시장이 더욱 확장될 것으로 전망해 기술력과 생산성을 향상시킬 예정이다.파나소닉은 플라즈마 TV외에도 평면TV 부문에서 현재 시장점유율 40% 이상을 차지하고 있어 TV시장의 전망은 밝다고 판단된다. 참고로 2016년 국내 TV판매량 목표치는 30만 대다.시장전문가들은 스마트 및 전자 제품의 수요가 증가되면서 전자제품의 성장세가 지속될 것으로 전망한다. 당사의 사업성장률이 연평균 15% 이상을 유지한 것도 이 때문이다.▲파나소닉인도네시아 홈페이지

전자기기업체 파나소닉인도네시아(PT. Panasonic Gobel Indonesia)에 따르면 2018년 국내 플라즈마 TV시장 점유율을 기존 7%에서 12%까지 확대할 계획이다.2013년 당사는 플라즈마 TV 사업부를 유치한 이후 지난 2015년 매출액이 20% 성장했다. 이로써 해당 제품의 수요시장이 확장될 것으로 전망해 기술력과 생산성을 향상시킬 계획이다.