▲ 리가쿠와 도호쿠 대학, X선 계측 위한 신규 연구소 설립 [출처=리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings)]

일본 리가쿠(Rigaku Corporation)에 따르면 2026년 8월1일 도호쿠대(Tohoku University)와 ‘리가쿠-도호쿠 대학 X선 계측 공동창조연구소: 한계를 넘어(Co-Creation Research Institute for X-ray Metrology: Beyond The Limits)’를 설립했다.

연구소는 X선 계측 기술을 발전시키고 새로운 계측 방법을 개발한다. 차세대 연구자를 육성하기 위해 3년간의 초기 협력을 진행할 예정이며 성과에 따라 협력 기간을 더 연장할 수 있다.

반도체가 점점 더 소형화 및 다층화되고 더 다양한 소재를 사용하게 됨에 따라 제조 공정도 복잡해지고 있다. X선 계측 기술은 안정적인 대량 생산을 지원하는 데 필요한 고정밀 비파괴 분석에 필수적이다.

하지만 기존 기술은 미세 구조 평가 및 심도 방향의 정확한 구조 분석과 같은 분야에서 한계에 도달하고 있다. 이러한 과제를 해결하려면 연X선(기존 X선보다 파장이 길고 에너지가 낮은 X선)을 포함한 새로운 계측 기술과 싱크로트론 방사선 시설과의 협력을 통해 구축된 더욱 강력한 역량이 필요하다.

또한 첨단 X선 계측 기술을 체계적으로 이해하고 이를 산업 및 연구 분야 모두에 적용할 수 있는 전문가를 양성하는 것이 점점 더 중요해지고 있다.

▲ 나노테라스(NanoTerasu) 전경 [출처=도호쿠대학교]

기술과 인적 자원이라는 2가지 과제를 해결하기 위해 차세대 싱크로트론 방사선 시설인 나노테라스(NanoTerasu)를 보유하고 정보 과학 분야를 선도하는 도호쿠 대학과 X선 계측 분야에서 전문성과 검증된 실적을 자랑하는 리가쿠가 새로운 연구소를 설립했다.

‘한계를 넘어(Beyond The Limits)’라는 슬로건 아래 연구소는 기술 혁신과 인재 개발을 통합하여 X선 계측의 현재 한계를 뛰어넘고자 한다. 연구소는 다음 3가지 핵심 목표에 집중하고자 한다.

1. X선 계측 기술의 발전

연구소는 나노테라스의 연X선 분야 강점을 활용하여 미세구조 계측 기술을 개발하고 도호쿠대의 정보과학 전문 지식과 리가쿠의 기술력을 융합해 데이터 분석을 발전시킬 것이다. 이 부문은 점점 더 정교해지는 계측 및 분석 요구를 충족하는 기술적 기반을 구축하는 것을 목표로 한다.

2. 협력 연구 촉진

연구소는 기존 기술로는 해결할 수 없는 과제를 포함해 X선 계측이 필요한 광범위한 분야에 걸쳐 공동 연구를 수행할 것이다.

3. 차세대 연구원 및 엔지니어를 위한 교육 및 지원

연구소는 X선 계측 기술의 기초부터 새로운 재료 및 구조에 대한 응용에 이르기까지 체계적인 교육을 제공하고 학점 인정이 가능한 코스를 도입하는 것을 목표로 한다.

이 부문은 산업계와 학계 모두에 기여할 수 있는 연구원과 엔지니어를 양성하는 것을 목표로 한다. 또한 리가쿠 장학 제도(Rigaku Scholarship System)는 X선 관련 연구를 수행하는 대학원생에게 장학금을 제공해 학위 논문 작성을 위한 학술 연구뿐만 아니라 실제 계측 기술에 대한 응용을 지원할 것이다.

연구소는 초기 3년 기간 동안 공동 연구 계획의 목표 달성에 집중할 것이다. 그리고 반도체용 연X선 계측의 실용화와 정보과학을 통한 데이터 분석 기술 발전에 우선순위를 둘 것이다.

이에 대한 성과를 바탕으로 연구소는 미세 구조 및 물질 상태에 대한 정밀한 특성 분석이 필수적인 전자 및 기능성 재료를 포함한 더 넓은 분야로 연구 범위를 확장할 것이다.

연구소는 산업계와 학계 모두에 기여할 수 있는 역량을 갖춘 연구원과 엔지니어를 양성함으로써 X선 계측 분야에서 지식 교류의 순환을 촉진하고 지속 가능한 혁신의 토대를 구축하는 데 기여하고자 한다.