▲ 교육생들이 아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비를 활용해 반도체 공정을 학습하고 있다([출처=아이지)첨단기술교육 전문기업 아이지(대표 김창일)는 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공했으며 본격적인 공급에 나섰다.반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비다. 반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다.반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 지원한다. 반도체 제조 공정에서 플라즈마는 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정과 함께 포토 공정 중 EUV 발생 등에 사용된다.전자기장을 통해 제어 가능한 기체 구조를 지닌 플라즈마는 적은 에너지 투입으로도 빠르게 화학반응을 진행할 수 있고, 양이온, 음이온, 라디칼, 원자, 분자 등 다양한 입자로 이뤄져 있어 새로운 화학 반응이나 더 빠른 화학 반응을 유도할 수 있다.플라즈마의 이러한 특성은 반도체 기술 발전에 따른 더 높은 수준의 공정을 구현하는 데 활용되고 있으며, 앞으로도 반도체 제조에서 플라즈마 공정의 활용 범위는 더 넓어질 것으로 기대된다.아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 반도체 플라즈마 공정의 프로세스 장치를 제어하는 컨트롤 솔루션을 제공한다.제어 소프트웨어 솔루션 및 제어기를 지원하고, 반도체 구성 모듈(RF Generator, Throttle Valve 등)과의 EtherNET 및 RS-232 통신 제어가 가능하다.또한 공정에서 취득한 데이터를 저장 및 관리하는 데이터 서버와 연계해 운용할 수 있으며 리얼 시스템과 가상 시스템을 상호 연계한 운용도 지원한다.▲ 아이지가 개발한 반도체 8대 공정 모듈[출처=아이지]이 장비를 통해 △웨이퍼 표면을 정리하고 활성화시켜 다음 공정 단계에 대한 접착력을 증가시키는 기능 △웨이퍼의 특정

▲ 벗겨서 쉽게 제거할 수 있는 임시 본딩 필름[출처=레조낙]일본 레조낙(Resonac Corporation, 사장 다카하시 히데히토)은 반도체 디바이스 제조 공정(전공정) 및 반도체 패키징 공정(후공정)에 웨이퍼 등을 글라스 등과 같은 캐리어에 임시로 지지하는데 사용되는 임시 본딩 필름을 개발했다고 밝혔다.레조낙은 새로운 디본딩 공정을 확립하고 새로운 임시 본딩 필름을 마케팅하기 위한 개발 파트너를 찾고 있다. 디본딩 공정은 제논(zenon, 이하 ‘Xe’) 플래시 광선을 조사해(flash light irradiation) 웨이퍼 또는 패키지를 캐리어에서 디본딩하며 웨이퍼 레벨부터 패널 레벨 공정까지 적용할 수 있다.또한 그을름과 같은 이물질을 생성하지 않으면서 기존 레이저 제거 방식에 비해 짧은 시간에 디본딩을 완료할 수 있다.이 기술은 일본, 미국, 한국, 중국, 대만 지역에서 특허를 받았다. 일본 특허 번호 7196857, 미국 특허 번호 11840648, 한국 특허 번호 10-2513065, 중국 특허 번호 ZL201880077311.4, 대만 특허 번호 I805655 등이다.▲ 레이저 및 Xe 광선 조사 이미지[출처=레조낙]첨단 반도체의 전공정 및 후공정에서는 임시 접착 재료로 웨이퍼와 칩을 글라스 등과 같은 캐리어에 임시로 접착하여 작업성을 향상시킨다.다양한 제조 처리 이후에 웨이퍼 또는 패키지를 임시 접착 재료와 함께 캐리어에서 디본딩한다. 따라서 임시 접착 재료의 성능은 모든 제조 공정에서 호환되어야 하며, 잔여 임시 접착 재료를 쉽게 제거할 수 있어야 한다.또한 디본딩 공정을 손상 없이 단시간 내에 완료해야만 높은 수율과 생산성 달성이 가능하다. 최근에는 후공정에서도 전공정만큼 청결도를 유지하는 것이 필수다. 따라서 기존의 레이저 제거 디본딩 방식은 그을름이 발생해 문제가 있었다.높은 내열성과 내화학성을 갖춘 레조낙의 임시 본딩 필름은 웨이퍼와 패키지를 임시로 캐리어 위에 지지할 때 충분한 접착 성능을

▲ 삼성전자가 포스코와 공동 개발해 재활용 소재 함유율을 높인 법랑용 강판이 제품 내부 소재로 사용되고 있는 법랑용 강판 비스포크 큐커 오븐(35L)[출처=삼성전자]삼성전자(회장 이재용)에 따르면 포스코와 협업을 통해 공동 개발한 재생 소재 함량을 높인 법랑용 강판이 UL 솔루션즈로부터 ECV(Environmental Claims Validations) 인증을 받았다.ECV 인증은 재사용·재활용이 가능한 소재의 사용률이나 유해물질 함유율 등 제품의 환경성 주장에 대한 타당성을 검증해 부여하는 환경마크다.제조 공정상 재생 소재 함유율에 대한 공정 심사 및 엔지니어 리뷰 등 검증이 필요해 인증 절차가 까다롭다.UL 솔루션즈가 인증한 법랑용 강판은 포스코의 전로(轉爐) 공정에서 재활용 소재를 다량 용해하는 기술을 활용해 삼성전자와 포스코가 공동으로 재생 소재 함유율을 12%까지 높였다. 전로 공정은 고로에서 만들어진 쇳물에서 불순물을 제거하는 과정을 말한다. 법랑용 강판은 유리질 유약을 도포해 고온에서 구워내는 법랑 코팅에 적합한 강판이다.법랑용 강판과 유리질의 장점을 결합해 주로 조리기기 내부 조리실 등에 널리 사용된다. 이 소재는 국내에 판매되는 빌트인 오븐· 큐커 오븐·전자레인지 내부에 적용될 예정이다. 단 비스포크 큐커 멀티(22L)제품은 적용 대상이 아니다.삼성전자는 향후 포스코와 협업을 확대해 재생 법랑용 강판 뿐 아니라 2025년부터 냉장고 도어·세탁기 세탁통·식기세척기 내부 등에 재생 소재가 함유된 스테인리스 강판을 확대 적용할 계획이다.한편 삼성전자는 이 밖에도 다양한 재활용 소재를 적극 사용해 환경 부담을 줄이기 위해 노력하고 있다. 대표적으로 올해 첫선을 보인 올인원 세탁건조기 ‘비스포크 AI 콤보’가 있다.커버도어에 플라스틱의 일종인 재활용 수지 에이비에스(ABS&middo

아랍에미리트 최대 도시인 두바이의 도로교통청(RTA)에 따르면 3D 프린팅 기술 개발로 예비 부품 제조 공정을 개선하기 위한 연구 및 개발을 진행하고 있다. 3D 프린팅 기술 분야의 선도기업 3곳과 공동으로 연구하고 있다. 두바이 전역의 도로 및 도로 시설의 유지 보수에 사용되는 전기기계 시스템용 예비 부품과 도로 표면 마감제를 제조하기 위한 목적이다. 두바이의 도로 유지 보수 및 시설에서 사용하기 전에 필요에 따라 효율성을 보장하는 것도 목표로 정했다. 지난 몇 개월 동안 전문 3D 프린팅 업체들과 협력했다.도로 유지 관리시스템의 예비 부품에 대한 가용성을 높이기 위해 새로운 이니셔티브를 개발했다. 또한 다양한 연구와 실험도 수행했다.이번 이니셔티브는 두바이의 도로 시설에서 프로펠러 팬, 제어 장비, 터널 벽의 마감재 등과 같은 예비 부품의 공급원을 확장하는 데 성공한 것으로 평가받고 있다.지역에서 부족한 예비 부품, 안전 조치 고려 등 구체적인 기준에 따라 예비 부품 유형을 3D 프린팅 대상으로 선정했다.3D 프린팅 기술은 예비 부품의 구입에 드는 운용 비용을 50% 감소시켰다. 운송 비용과 예비 부품을 두바이로 수입하는 데 필요한 시간을 줄이는 데도 기여했다. 또한 이력 데이터 분석을 통해 공장 기반 예비 부품에 추가적인 개선이 도입돼 고장률이 사상 최저 수준으로 줄어들었다.▲도로교통청(Roads and Transport Authority, RTA) 로고

세계보건기구(World Health Organization, WHO)에 따르면 "인공지능(AI) 개발에서 평등은 공정성과 포괄성에 대한 권한에서 출발해야 한다." 라고 밝혔다.최근 WHO가 발표한 '건강을 위한 AI 의 윤리와 거버넌스' 보고서에서 "의료 분야에서 AI 개발에 대한 가장 중요한 윤리적 고려사항은 무엇인가?"  라는 질문에 상기와 같이 밝힌 것이다. AI 제품 제공자가 정확한 정보에 입각한 의료 결정을 내리고 환자가 긍정적인 결과를 얻도록 도울 수 있는 것이 목적이어야 한다고 판단했다.안전하고 투명하며 공평한 AI 제품과 애플리케이션을 개발 및 설계하는 방법에 대한 권고사항도 제시하고 있다. AI 개발의 주요 5가지 권고사항은 다음과 같다. ▲인간은 건강관리시스템과 의학적 결정을 통제할 수 있어야 한다.▲AI 제품은 잘 정의된 사용 사례 내에서 안전성, 정확성 및 효과성에 대한 표준을 충족해야 한다.▲AI 개발자는 AI 제품이 사용되기 전에 어떻게 설계되고 기능하는지에 대해 투명해야 한다.▲AI 에 의존하는 의료사업자는 교육을 받은 인력이 적절한 조건에서 AI 제품을 사용하도록 보장해야 한다.▲AI 는 포괄성과 평등을 장려하도록 설계돼야 한다.▲세계보건기구(World Health Organization, WHO) 홈페이지

중국 하얼빈공정대학(哈??工程大?)에 따르면 특정 잠수함을 폭파할 수 있는 공격형 수중 드론을 개발 중인 것으로 나타났다.이 수중 드론은 정해진 경로로 수면 아래 약 10미터 정도에서 유영할 수 있다. 감지센서에 포착된 잠수함을 인공지능(AI)으로 피아를 식별하고 어뢰로 공격한다. 연구진은 추후 군집 드론 형태로 개발한다는 계획이다.수중 무기에 대한 연구는 1990년대부터 시작됐으며 현재에 이르러 드론으로 구현되고 있다. 인공지능 기술과 드론형 어뢰 공격 시스템을 접목하며 더욱 진보되고 있는 것이다.하얼빈공정대학은 중국 내에서도 손꼽히는 잠수함 연구소를 보유한 대학 연구기관이다. 이번 수중 드론 프로젝트는 중국 인민해방군에서 연구개발비를 지원하고 있다.이번 프로젝트의 설계 단계를 일부 공개한 것은 인민해방군이다. 최근 대만해협을 둘러싼 분쟁의 긴장도가 점차 고조되고 있는데 이와 어느 정도 연관돼 있다는 해석이 적지 않다.글로벌 드론산업을 연구하는 국가정보전략연구소는 “드론이 여러 형태로 개발되면서 해양 분야의 무기체계도 급변하고 있다”면서 “미래 수중 전쟁의 필요성이 드론 기술개발의 새로운 기회로 작용할 것이다”라고 밝혔다.▲하얼빈공정대학 전경(출처 : 홈페이지)

독일 분말야금 제조업체인 GKN Additive에 따르면 자동차 및 산업 응용 분야를 위한 DPLA(Dual Phase Low Alloy) 및 FSLA(Free Sintering Low Alloy)용 3D 프린팅 공정을 개발했다. DPLA 및 FSLA는 높은 극한 인장 강도(UTS) 및 낮은 항복 강도(YS)를 갖는 DP600(HCT600X/C)과 같은 유사한 기계적 특성 요구 사항을 충족한다.특히 DPLA와 FSLA는 기존의 자동차 재료인 DP600 이상인 것으로 평가된다. DPLA와 FSLA가 퍼짐성(spreadability), 레이저 흡수(Laser AM) 및 소결성(Binder Jetting)과 관련해 적층 제조에 특화되어 있기 때문이다.특히 GKN Additive에서 개발한 DPLA 재료는 레이저 또는 바인더 젯팅 공정 후 열처리를 통해 기계적 특성을 보다 광범위하게 조정할 수 있기 때문에 특성이 매우 유연하다.이를 통해 내부 프로세스가 간소화되고 제품을 더욱 빠르게 제공할 수 있다. 따라서 GKN Additive에서 개발한 DPLA 재료는 다양한 산업 부문에서 다양하게 적용될 수 있을 것으로 전망된다. ▲ GKN Additive의 홍보자료(출처 : 홈페이지)

일본 경제산업성(経済産業省)에 따르면 대만 반도체 파운드리인 TSMC가 산업개발연구소에 고성능 컴퓨팅 구현 기술 공정 라인을 구축할 것을 채택했다. 포스트 5G 정보통신 시스템 기반 강화 연구개발사업의 첨단 반도체 기술 개발 부문의 실현을 목적으로 한다. 5건의 채택 사항이 결정됐다. 해당 사업은 5G 기술을 기반으로 하고 동시에 다수의 연결이 가능하는 등의 기능을 강화한 포스트 5G를 목표로 정했다. 향후 포스트 5G를 공장, 자동차 등 다양한 사업 부문에 활용할 방침이다.▲경제산업성(経済産業省) 로고  

미국 금속 3D 프린팅 회사인 벨로3D(Velo3D)는 새로운 재료의 공정 변수를 개발하기 위해 PST(Praxair Surface Technologies)와 파트너 관계를 맺었다.이 파트너십을 통해 PST의 트루폼 파우더(TruForm powders)와 함께 벨로3D의 레이저 융합 금속 적층가공 사파이어 시스템(laser fusion metal AM Sapphire system)이 함께 사용될 예정이다.벨로3D의 기술은 적층가공 기술의 광범위한 응용 분야에서 기회를 제공해줄 수 있을 것으로 기대된다. 어려운 형상을 구축할 수 있기 때문이다.벨로3D는 2018년 여름 인텔리전트퓨전(Intelligent Fusion) 기술과 플로우 프린팅 준비 소프트웨어를 기반으로 사파이어 시스템(Saphire System)을 출시했다.참고로 PST는 항공우주 및 에너지 분야를 전문으로하는 프리미엄 특수합금 기반 솔루션의 선도적 제조업체로 알려져 있다. ▲ USA-Velo3D-3Dprinting▲ 벨로3D(Velo3D)의 사파이어 시스템 홍보자료(출처 : 홈페이지)

영국 오랜 역사를 자장하는 유리 제조업체인 비트손클락(Beatson Clark)에 따르면 가상현실(VR)을 이용해 유리 제조공정을 교육시키는 시스템을 개발했다. 가상현실(VR) 전문기업인 VRMT와 협업했다. 용광로는 섭씨 1600도에 도달하고 용융 유리혼합물의 작동 온도는 섭씨 1100도이기 때문에 기존의 교육 프로그램하에서는 신입 직원들을 생산공장 내에서 교육하는 것이 어려웠다.그러나 새로 개발된 교육시스템에서는 실제와 같은 3D 가상현실을 공장에서 재현함므로써 신입 직원들이 병을 형성하는 공정을 완전히 이해하고 결함을 식별할 수 있도록 교육이 가능하다.복잡한 생산기계를 작동시키기 위한 교육도 직원들에게 용이하게 제공할 수 있을 것으로 기대된다. 세계 어디서나 유리 제조업체가 사용할 수 있는 교육 프로그램을 최초로 개발한 것으로 평가받고 있다.비트손클락은 독일 뉘른베르크에서 열리는 음료 생산공정 체인 전시회인 'BrauBeviale'에서 이 교육 시스템을 전시할 계획이다. 참고로 비트손클락의 Greasbrough Road 사무소는 1751년부터 로더햄 (Rotherham)에서 유리 병 및 항아리를 제조했다. 오랜 역사와 전통을 자랑하며 식품, 음료, 제약 등의 틈새 시장을 겨냥한 유리 포장 솔루션을 전문적으로 제공한다.▲ UK-beatson-VRprogram-homepage▲ 비트손클락의 가상현실(VR)을 이용한 교육시스템(출처 : 홈페이지)