▲ 기가포톤(Gigaphoton) 로고 [출처=기가포톤(Gigaphoton)]

일본 기가포톤(Gigaphoton Inc.)에 따르면 2026년 9월 25일 자국의 한 고온 초전도선 제조업체에 펄스 레이저 증착(PLD)용 L300KZ KrF 엑시머 레이저를 설치했다.

일본 내각부가 주관하는 문샷 연구개발 프로그램(Moonshot Research and Development Program)의 10호 목표에 따라 개발된 레이저는 고온 초전도선의 양산을 위한 평가에 착수했다.

기가포톤은 문샷 10호 목표 연구개발 프로젝트인 ‘다양한 혁신적 핵융합로 콘셉트 실현을 위한 기초 초전도 기술(Fundamental Superconducting Technology to Realize Various Innovative Fusion Reactor Concepts)’(과제 번호 JPMJMS24A2)의 참여 기관이다.

본 프로젝트는 핵융합로에 사용되는 초전도 자석의 중요한 구성 재료인 고성능 희토류 바륨 구리 산화물([1]REBCO) 와이어의 고품질 저비용 대량 생산 기술을 확립하는 것을 목표로 한다. 본 프로젝트에서 기가포톤은 PLD 공정에 사용되는 엑시머 레이저 개발을 담당한다.

이번 평가를 위해 설치된 L300KZ는 고온 초전도 소재의 PLD 박막 증착을 위한 고펄스 에너지 레이저로, 기가포톤의 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저를 통해 축적된 기술을 적용하여 개발되었다.

PLD 공정에 사용되는 광원 중 엑시머 레이저는 고펄스 에너지를 제공하며 고품질 박막 형성에 널리 사용된다.

회사는 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저 분야에서 축적한 광범위한 경험을 바탕으로 개발한 기술, 특히 안정적인 작동과 고가용성을 지원하는 기술을 적용하고 있다. 기가포톤은 PLD 공정의 생산성 및 장비 가용성 향상에 기여하는 것을 목표로 한다.

이번 설치를 통해 프로젝트는 실제 PLD 박막 증착 공정 환경에서의 평가 단계로 진입하게 된다. 기가포톤은 프로젝트 관련 기관들과 협력하여 레이저 작동 조건과 증착 공정 간의 관계를 검증할 예정이다. 이는 고온 초전도선의 품질 향상 및 대량 생산 기술 확립에 기여할 것이다.