▲ JCM-7000Plus NeoScope™ [출처=제올]

일본 전자업체인 지올(JEOL Ltd.)에 따르면 2026년 9월1일 탁상형 주사전자현미경(SEM) JCM-7000Plus를 개발해 판매를 개시했다.

탁상형 주사전자현미경은 전기·전자, 자동차·기계, 철강 및 금속, 화학 및 의약품을 포함한 분야에서 활용도가 점차 높아지고 있다.

연구개발(R&D)뿐만 아니라 품질 관리, 제품 검사 등 제조 관련 현장에서도 널리 사용되며 중·고등학교 및 대학교 등 교육 현장에서도 활발히 도입되고 있다.

적용 분야가 다변화됨에 따라 작업 운영 효율성 향상, 단순화되고 더 자동화된 조작, 그리고 관찰·분석·측정 성능 개선에 대한 시장의 요구가 지속적으로 증가하는 추세다.

이러한 요구에 부응하기 위해 회사는 착지 전압(가속 전압)을 20킬로볼트(kV)까지 확장했다. 이로 인해 해상도가 6나노미터(nm)로 향상돼 더 높은 배율에서의 측정이 가능해졌다.

소프트웨어 측면의 경우 신형 JCM-7000Plus는 광학 이미지에서 주사전자현미경 관찰로 자연스럽게 전환해주는 ‘제로매그(Zeromag)’와 관찰 중 실시간 원소 분석을 지원하는 ‘라이브 어낼리시스(Live Analysis)’ 기능을 포함했다.

기존 JCM-7000의 직관적이고 사용자 친화적인 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)를 그대로 유지했다. 여기에 한층 강화된 자동화 기능인 ‘네오 액션(Neo Action)’이 새롭게 추가됐다.

기존 3가지 라이브 기능(라이브 어낼리시스(Live Analysis), 라이브 맵(Live Map), 라이브 3D(Live 3D))에 더해 회사는 관찰 중 실시간으로 입자 크기와 개수를 자동 측정하는 ‘라이브 파티클(Live Particle)’과 최고급형 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM)에서 제공되던 기능으로 시야를 이동하면서 데이터를 자동으로 취득하고 보고서를 생성하는 ‘라이브 리포트(Live Report)’라는 2가지 새로운 기능을 추가했다.

이러한 기능들은 일상적인 작업을 단순화해 더욱 직관적이고 효율적으로 만드는 동시에 사용자의 분석 워크플로를 대폭 지원한다.

◇ 주요 특징

1. 착지 전압을 20kV로 확장해 해상도 향상(이차 전자상: 6nm, 후방 산란 전자상: 8nm)
2. 화질 향상을 위해 후방 산란 전자 검출기 개선
3. 새로운 라이브 파티클 기능으로 입자 크기 및 개수를 자동 측정해 워크플로 간소화
4. 라이브 리포트로 시야 이동 중 데이터 취득 및 보고서 생성을 가능하게 해 작업 효율성 향상
5. 간단하고 사용자 친화적인 GUI 유지, 더욱 직관적이고 더 쉬운 조작을 위해 자동화 기능 추가